11月13日消息 據半導體渠道權威媒體 Digitimes 今日報道，半導體設備行業人士透露，相較于三星電子 (Samsung Electronics)少主李在镕親自出訪 ASML，要求提前交付已下單的 EUV 設備，臺積電早已針對這兩年的機臺需求做了超前準備。

業者透露，不用總裁親自飛往荷蘭要求 ASML 提速交貨，臺積電已向 ASML 確認 2020-2021 年 EUV 設備機臺訂單量與交貨日期。2020 年是 5nm 全速沖刺的關鍵時期，全年臺積電下單量約達 15-16 臺，2021 年則至少 13 臺起步，預計全年約 16-17 臺，方可滿足 5nm 擴產及 3nm 上陣的需求。

據估算，至 2020 年底，臺積電 EUV 設備采購量累積達 30 多臺，光是 5/3nm 節點的南科廠目前就達 20 臺，比三星、英特爾現有 EUV 光刻機還要多，預估至 2021 年底總計將逾 50 臺，三星晶圓代工屆時約 30 臺。

值得一提的是，ASML 2019年全年出貨 26 臺，今年上半年出貨 13 臺，截至三季度結束累計才出貨 23 臺。

由于 EUV 光刻機價格昂貴，每臺造價約為 1 億歐元，折合人民幣 7.8165 億元，就這還不包括相關設備、人力資源等花費。

業者表示，對 ASML 而言，臺積電位居全球晶圓代工龍頭，市占比高逾 5 成，為 EUV 機臺采購主力，遠高于三星電子、英特爾 (Intel)、DRAM 廠三星、SK 海カ士 (SK Hynix)與美光(Micron)目前仍在初期規劃與導入階段。也正因因此，ASML 對于臺積電訂單絕對是使命必達、優先處理。隨著 7nm 以下制程投資大增，臺積電有望保持領先地位。

在先進制程競賽中，臺積電 5nm 已如期在 2020 年第 2 季度登場，且明確揭露未來制程推進規劃，包括 2021 年再推出 5nm 加強版，隸屬于 5nm 家族的 4nm 工藝預計 2021 年第 4 季試產，2022 年量產。

3 nm 工藝也維持先前預期，2021 年進風險試產，2022 年下半量產，而 2nm 的竹科研發中心、生產基地早已開始動工，傳出已取得蘋果新單協議，同時也開始 1nm 制程的規劃。

IT之家了解到，臺積電仍是目前半導體行業的龍頭企業，無論是三星還是英特爾在先進工藝方面都無法望其項背。

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